市場(chǎng)監(jiān)管總局批準(zhǔn)新建二維線紋基準(zhǔn)裝置
2025年01月17日 13:35????信息來(lái)源：中國(guó)質(zhì)量報(bào)
近日，市場(chǎng)監(jiān)管總局批準(zhǔn)新建二維線紋基準(zhǔn)裝置，填補(bǔ)我國(guó)校準(zhǔn)影像測(cè)量?jī)x、光學(xué)顯微鏡等光學(xué)精密測(cè)量設(shè)備和高精度光刻機(jī)母版制造設(shè)備的二維線紋標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量能力空白，核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)完全自主可控。
二維線紋基準(zhǔn)裝置測(cè)量范圍為320mm×320mm，最優(yōu)測(cè)量不確定度僅28nm，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的1/2500。該基準(zhǔn)裝置主要特點(diǎn)是大范圍、微尺寸、多參量，可為二維尺寸、位置及形狀提供量值溯源，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該基準(zhǔn)裝置有助于解決亞微米、納米級(jí)光刻機(jī)母版的二維線紋“測(cè)不準(zhǔn)”的難題，為電子通信、軌道交通、航空航天、醫(yī)療設(shè)備等高端制造領(lǐng)域精密加工和測(cè)量設(shè)備提供技術(shù)支撐和保障。
近日，市場(chǎng)監(jiān)管總局批準(zhǔn)新建二維線紋基準(zhǔn)裝置，填補(bǔ)我國(guó)校準(zhǔn)影像測(cè)量?jī)x、光學(xué)顯微鏡等光學(xué)精密測(cè)量設(shè)備和高精度光刻機(jī)母版制造設(shè)備的二維線紋標(biāo)準(zhǔn)器的測(cè)量能力空白，核心技術(shù)實(shí)現(xiàn)完全自主可控。
二維線紋基準(zhǔn)裝置測(cè)量范圍為320mm×320mm，最優(yōu)測(cè)量不確定度僅28nm，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的1/2500。該基準(zhǔn)裝置主要特點(diǎn)是大范圍、微尺寸、多參量，可為二維尺寸、位置及形狀提供量值溯源，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。該基準(zhǔn)裝置有助于解決亞微米、納米級(jí)光刻機(jī)母版的二維線紋“測(cè)不準(zhǔn)”的難題，為電子通信、軌道交通、航空航天、醫(yī)療設(shè)備等高端制造領(lǐng)域精密加工和測(cè)量設(shè)備提供技術(shù)支撐和保障。
相關(guān)閱讀：
- 市場(chǎng)監(jiān)管總局黨組召開(kāi)擴(kuò)大會(huì)議傳達(dá)學(xué)習(xí)中央經(jīng)濟(jì)工作會(huì)議精神（2025-12-19）
- 市場(chǎng)監(jiān)管總局：民生領(lǐng)域反壟斷執(zhí)法專項(xiàng)行動(dòng)三年來(lái)罰沒(méi)款29.3億元（2025-12-19）
- 送法上門助力合規(guī)?競(jìng)爭(zhēng)倡導(dǎo)護(hù)航發(fā)展（2025-12-19）
- 市場(chǎng)監(jiān)管總局發(fā)布《非橫向經(jīng)營(yíng)者集中審查指引》（2025-12-18）
- 聚焦民生重點(diǎn)市場(chǎng)監(jiān)管領(lǐng)域?qū)⒊雠_(tái)多項(xiàng)新政策（2025-12-18）
京公網(wǎng)安備 11010502043458號(hào)